Előnyök:
Ez a szivattyú sorozat jó teljesítményt nyújt zord környezetben (magas hőmérséklet, por stb.), Stabil teljesítményben és hosszú élettartammal, valamint egyszerű karbantartással és kényelmes kezeléssel.
Alkalmazások:
Fő alkalmazási területei az ipari szivárgásérzékelés, PVD, CVD, ionbeültetés, vákuum elektronikai alkatrészek gyártása, low-E üveg, ITO üveg, optikai bevonat, napelemek, elektronnyaláb-hegesztés, vákuumkemence és más iparágak
Specifikációk:
Karima (bent) | DN400 ISO-K | Gáz az egész sccm -ben | N25500 : |
Karima (Ki) KF | DN100 | Ő 4000 : | |
Szivattyúzási sebesség (L/s) | N23500 : | H23200 : | |
Ő 2650 | Ar : 2100 | ||
H21280 : | Fordulatszám (ford / perc) | 13500 | |
3200 : | Felfutási idő (perc) | ≤18 | |
Tömörítési arány | N2: 108 | Hűtés típusa, standard | Víz |
Ő. 103 | Hűtővíz -fogyasztás (L/perc) | ≥1 | |
H2: 102 | Hűtővíz hőmérséklet (℃ | ≤25 | |
Ar : 108 | Tápcsatlakozás: Feszültség (V AC) | DC24/AC220 | |
Végső nyomás (Pa) | 6 × 10-6 | Max. Energiafogyasztás: W) | ≤1100 |
Max. Folyamatos elő-vákuumnyomás (Pa) | 100 | Vezérlő modell | FD-III |
Max. Elővákuum nyomás | N2300 : | Súly (kg) | 130 |